產(chǎn)品介紹

Regulus8100是日立冷場發(fā)射掃描電鏡的全新系列，Regulus8100保留了SU8010易維護、易操作等優(yōu)點，進一步提高性能，1kV減速模式下最高分辨率達到了0.8nm，15kV達到0.7nm，高低電壓均可滿足高分辨的觀察。

產(chǎn)品特性：

1. 配備加速電壓減速功能，優(yōu)秀的低加速電壓成像能力，1kV分辨率可達0.8nm
2. 日立專利E×B技術，無需噴鍍，可直接觀測不導電樣品
3. 配備電子槍內置加熱器，物鏡光闌具有自清潔功能
4. SE與BSE任意比例搭配功能

樣品：AlTiC基板

加速電壓：1kV

倍率：2萬倍

產(chǎn)品應用：

1、  納米材料；

2、  半導體器件；

3、  高分子材料；

4、  生物醫(yī)學；

5、  新能源；

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